Le Mata'utia Cathode: Electron Beam Filaments i Ion Implantation Systems ma le Taua o filifili sapalai mautu
I le lalolagi fa'apitoa o le gaosiga o le semiconductor, lea e fa'atonu ai le sa'o o le atomic-le fa'atinoga o microchip ta'itasi, o le fa'apipi'iina o ion e tu e fai ma maatulimanu faiga. O le auala tonu lea mo le fa'aofiina ma le loto i ai o atomo dopant i totonu o se ma'i ma'i silikoni e sui ai ona mea tau eletise, ma fa'atupuina ai feso'ota'iga P-N taua e fai ai le ma'a o transistors. E ui o le ion beam lava ia e sa'o ai le gauai atu, o lona lava augatupulaga e faalagolago i luga o se mea faigofie taufaasese ae matua taua tele: o le filament beam electron. O lenei thermionic emitter e avea ma vaega autu o le moli eletise i totonu o vaega lavelave eletise eletise o le puna o le ion, o loʻo galue e pei o le leoa, malosi o le fatu o le faagasologa atoa o le totoina o le ion.
O lenei tusiga o loʻo suʻesuʻeina i totonu o matafaioi faʻapitoa, luʻitau faʻatinoga, ma tekinolosi faʻafouina o filaments eletise eletise i totonu o meafaigaluega faʻapipiʻi ion, suʻesuʻeina pe aisea e taua ai lenei vaega mo le ausiaina o le mama, mautu, ma le gaosiga o loʻo manaʻomia e faʻaonaponei semiconductor fabs. E le gata i lea, o lo'o fa'amamafaina ai le taua tele o se filifili sapalai fa'atuatuaina mo nei -maualuga mea fa'aaoga, lea e fiafia ai kamupani.Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd.faia se matafaioi taua i le faʻamautinoaina o le faʻaauauina o le faʻaogaina o laina gaosiga o le semiconductor i le lalolagi.
I. O le Tulaga Ion i totonu: O se Manaʻoga mo le Mama, Saʻo, ma le Vaʻaia
Fa'atosina o le ione aofia ai ionizing dopant atoms (pei o Boron, Phosphorus, poʻo Arsenic), faʻavaveina i latou i le malosi maualuga, ma faʻatonu i latou i luga o se mea faʻapipiʻi silicon. O le faagasologa e tupu i totonu o se si'osi'omaga -maualuga gaogao e puipuia ai le fa'asalalauina o la'au ma fa'aleaga wafer. O le malaga a se ion e amata i le puna o le ion, o se tuufaatasiga lavelave ovaega mama eletiseua fuafuaina e fatu, aveese, ma taula'i muamua se plasma mai se kesi fafaga.
O le lu'itau autu i totonu o le puna o le ion e lua: muamua, ia gaosia se plasma mafiafia, mautu ma se vaega maualuga o ituaiga o le dopant ion e mana'omia ae fa'aitiitia le fa'aleagaina; ma le lona lua, ia mautinoa o lenei faagasologa e toe fai ma faatuatuaina i luga o le faitau afe o itula o le faagaoioiga ma le itiiti o taimi malolo e lei faatulagaina. O lenei mea e aumaia ai lefilament ave eletise-se vaega fa'aaogaina ma le umi o le ola-e fa'atatau i le mata'utia o se vaega taua i le gaosiga o fuafuaga ma le tau o le umiaina.
II. O le Filament Beam Electron: Galuega ma le Mechanism e avea ma Punavai Eletise Muamua
I totonu o le potu puna ion, o le filament o se faʻainisinia saʻovaega puna moli eletisee emits se ao o electrons. E masani ona fausia mai u'amea malosi e pei o le tungsten po'o le tantalum ona o le maualuga o le liusuavai ma le lelei o mea fa'aeletonika, o le filament e fa'afefeteina i le vevela tele (masani e sili atu i le 2200 tikeri).
Pe a faʻamalosia, e faʻasaʻo ai se lologa o eletise muamua. O nei eletise e faʻavaveina e se eletise eletise malosi, e fausia ai se faʻatonutonuave eletise. I totonu o le puna o le ion, e faia e lenei ave ni galuega taua se lua:
1. Gas Ionization: O le maualuga-elektoni malosi e feto'ai ma moleke kasa fa'a'ese'ese le dopant, aveese ai le eletise ma fa'atupu ai ion lelei e mana'omia mo le la'au.
2. Plasma Sustenance and Density Control: O le faʻaauau pea o le eletise eletise e toe faʻatumu ai le malosi i le plasma. O le fa'aoso o le filament e fa'atonu sa'o ai le mamafa o le plasma, lea e fa'atonuina ai le ion beam o lo'o avanoa mo le totoina.
III. Fa'asologa o Fa'atinoga, La'ei, ma le Mana'oga mo le Tu'u Tulaga
O le filament o se vaega ofuina. O le faasolosolo malie o le fa'asao ma le ono fa'aleagaina mai feso'ota'iga plasma e fa'atonuina ai se suiga fa'atulagaina. O lenei mea moni e faʻalagolago tele ai faʻataʻitaʻiga faʻatinoga i se sapalai vaʻaia:
MaualulugaO fa'agasologa e mana'omia ai fua fa'atatau maualuga e tuleia ai filament i o latou tapula'a, e mana'omia ai le maualuga o le fa'aoso ma ta'ita'i atu i le fa'alava vave. O Fabs o lo'o fa'agaoioia faiga fa'apenei e mana'omia ai se -taimi sapalai o ni suiga maualuga-e fa'atumauina ai le gaosiga.
Maualalo-Masi'i Sa'o Fa'apipi'i:O le mautu e sili ona taua. O fesuiaiga o le fa'aosoina o filament e mafai ona mafua ai le fesuisuiai o le plasma, ma a'afia ai le fa'amalieina o la'au. O le fa'aogaina o filaments fa'atasi ma meafaitino ma geometry mai lea vaega i lea vaega e taua tele mo le fa'atonutonuina o gaioiga.
Fa'aiti'itia le Taimi Fa'aletonu:O le faaletonu o le filament a'o le'i fuafuaina e suitulaga e taofia ai le implanter. O le taimi e manaʻomia e faʻafefe ai le puna, sui le filament, pamu i lalo, ma toe faʻaagavaaina le meafaigaluega e taugata tele. O le mea lea, e fa'alagolago le fa'agamea i tagata fa'atau oloa e mafai ona fa'amautinoa e le gata i le lelei o se oka se tasi, ae o le -se umi, mautu le sapalai o filament fa'alagolago. Ole mea lea e fa'aitiitia ai le fa'aletonu ole laina ole gaosiga ona ole fa'aletonu vaega.
IV. Le Matafaioi a Tagata Fa'apitoa: Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd.
I lenei si'osi'omaga -maualuga, e le mafai ona fa'asili le tau o se kamupani fa'alagolago, fa'atekinisi. Kamupani pei o Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd. ua fa'atūina i latou lava e fai ma pa'aga autu i le fa'aogaina o mea fa'anatura. O la latou matafaioi e sili atu nai lo le gaosiga faigofie:
Tulaga lelei ma le mama o meafaitino:Latou te tu'uina atu filaments fa'aeletonika ua gaosia i fa'amatalaga ma'oti, fa'amautinoaina le fa'amalieina o le fa'aogaina o mea fa'ameamea (fa'ata'ita'iga, tungsten doped po'o tantalum alloys), ma uiga fa'avevela. E taua tele lenei fa'atasi mo le toe fa'atinoina o le faagasologa.
Mauaina Gafatia Gaosi ma Fa'amautinoaga o Sapalai:Mo fabs semiconductor, o se filifili sapalai va'aia e taua tele e pei o vaega lelei. E fa'atumauina e se kamupani fa'atuatuaina le lava gafatia o le gaosiga ma le su'esu'ega o mea mata'ina e fa'afetaui uma ai fa'atonuga fuafuaina ma fa'atonuga fa'anatinati, fa'amautinoaina e mafai e fabs ona fa'atino a latou fa'atonuga e aunoa ma le fa'atuai.
Lagolago Fa'atekinisi ma Galulue Fa'atasi:I le malamalama ai i le fa'aogaina o le si'osi'omaga faigata o fa'apogai o le ion, e mafai e tagata fa'atau e pei o Kingdon ona galulue fa'atasi ma tagata gaosi mea faigaluega ma -tagata fa'ai'uga e fa'amanino le mamanu filament mo fa'aoga patino, e ono fa'aumi ai le ola tautua po'o le fa'aleleia atili o le fa'amautu.
Tu'ufa'atasiga i totonu o vaega ole masini masini eletise:E pei o se autuvaega puna moli eletise, o le filament e tatau ona fetaui lelei ma isivaega mama eletise-le potu puna, insulators, ma electrodes. E fa'amautinoaina e se fa'apolofesa fa'apolofesa a latou oloa e fetaui tonu ma mana'oga fa'ainisinia ma eletise mo le tu'ufa'atasiga lelei ma fa'atuatuaina fa'atinoga.
V. Luitau ma le Vaaiga i le Lumanai
O le lumanaʻi o le faʻapipiʻiina o ion e manaʻomia atili mai filaments ma a latou sapalai sapalai:
Manaoga Node:A'o fa'aitiitia nodes i le 3nm ma lalo ifo, o le fa'apalepale mo le fa'aleagaina ma le fa'agasologa o suiga e latalata ile zero. E tatau ona gaosia filament i si'osi'omaga sili-mama ma -tulaga maualuga maualuga atu le mama.
Tu'ufa'atasiga Tausiga:E mafai ona fa'aogaina fa'amatalaga i fa'atinoga o filament (voltage, fa'asologa o lo'o i ai nei) mo au'ili'iliga va'ai. O le galulue fa'atasi i le va o tagata fai mea faigaluega, fa'ameamea, ma fa'atauga vaega e mafai ona fa'amalieina nei fa'ata'ita'iga, fa'aliliuina fa'atulagaina suiga i taimi sa'o lelei.
Maufetuuna'i filifili filifili:O mea na tutupu talu ai nei i le lalolagi ua fa'amamafaina ai le taua tele o se filifili fa'aola, tele{0}}puna fa'asoa mo vaega taua. O fa'atau oloa mautu ma fa'atekinisi i itulagi 'autū e tu'uina atu ai i le alamanuia le pa'u ma le fetuutuuna'i.
VI. Fa'ai'uga: Ose Vaega Taua, Ose Pa'aga Taua
I le faaiuga, o le filament beam electron e sili atu nai lo se faʻaaogaina faigofie. O se sa'o leleivaega puna moli eletiseo lona faagaoioiga faatuatuaina e faavae i lefa'apipi'i ionfaiga. O lona fa'atinoga ma le fa'amoemoeina o lona soifuaga e a'afia tonu ai le taimi fa'aola, galuega, ma fua mai o meafaigaluega fa'apipi'i e tele-miliona-tala.
O le mea lea, o le fa'amautuina o se sapalai mautu o filament -maualuga ose tulaga taua tele mo le au gaosi semiconductor. Fa'atau oloa fiafia
Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd.saunia lenei mautu taua. E ala i le tu'uina atu o oloa faifai pea, fa'atuatuaina ma fa'amautinoaina le fa'aauauina o le filifili o sapalai, latou te fa'amalosia ai le au gaosi mea faigaluega ma fa'agamea e taula'i atu i le tuleia o tuaoi o tekinolosi, ma le mautinoa o le a fa'aauau pea le tamo'e malosi o le "tātā fatu" o latou puna ion. I le siva lavelave o le gaosiga o semiconductor, o ia faiga faapaaga faatuatuaina e le na o le faigofie; e faavae i le alualu i luma.
